실리콘 소재를 위한 원스톱 솔루션 제공

/ 제품 / Si 튜브

초크랄스키법으로 성장시킨 단결정 실리콘 튜브
초크랄스키(CZ) 공정을 통해 제조된 단결정 실리콘 튜브는 반도체 제조용 소성의 핵심 부품입니다. 이 튜브는 초고순도(≥99.9999%)와 결함 없는 결정 구조로 잘 알려져 있으며, 산화, 확산, 에피택셜 성장과 같은 고온 공정 중 오염을 최소화합니다. 다결정 또는 석영 대체재와 달리 단결정 실리콘 튜브는 뛰어난 열적 안정성을 나타내며, 최대 1,200°C의 온도에서도 치수 안정성을 유지하고 열충격에 견딥니다.
 
CZ 방식으로 성장된 단결정 실리콘 튜브는 부식성 가스(예: HF, Cl₂) 및 극한의 열 사이클링을 견딜 수 있도록 설계되어, 첨단 반도체 응용 분야에 이상적입니다. 산소 및 탄소 함량이 낮기(각각 ≤9×10¹⁷ 원자/cm³ 및 ≤3×10¹⁶ 원자/cm³) 때문에 도펀트 간섭을 최소화하여 소자 특성을 정밀하게 제어할 수 있습니다. 예를 들어, 산화로에서 이 튜브를 사용하면 웨이퍼 위에 균일한 이산화규소 층을 성장시킬 수 있는데, 이는 트랜지스터 절연 및 유전체 형성에 필수적인 공정입니다.

다결정 실리콘 튜브는 반도체 제조 및 진공 가공 산업에서 널리 사용되는 고성능 세라믹 부품입니다. 이 튜브는 높은 순도(99.9999%)와 뛰어난 열적 안정성(최대 1200°C의 온도를 견딤)을 갖추고 있어, 배기 링 블랭크 소재 및 반도체 에칭 부품과 같은 중요한 용도에 이상적입니다.

반도체 산업에서는 웨이퍼 가공 및 박막 증착에 다결정 실리콘 튜브가 사용됩니다. 태양 에너지 분야에서는 태양전지 제조에 있어 이 튜브들이 핵심적인 역할을 합니다. 크기와 모양을 맞춤형으로 제작할 수 있는 다결정 실리콘 튜브는 다양한 응용 분야의 요구 사항을 충족시켜 현대 산업 생산에 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공합니다.

고순도 다결정 실리콘 링 잉곳, 다결정 실리콘 링 잉곳의 건식 식각 적용
반도체용 실리콘 튜브
실리콘 내벽 코팅 튜브는 반도체 제조, 의약품 생산, 첨단 화학 공정 등 초고순도가 요구되는 산업 분야에서 핵심적인 구성 요소입니다. 이 튜브는 고순도 실리콘(최대 99.9999%)을 내벽 코팅 재료로 사용하며, 이는 불활성 장벽 역할을 하여 외부 오염 물질로 인한 오염이나 화학적 반응을 방지합니다.
  • 반도체 산업: 웨이퍼 오염을 방지하기 위해 가스 공급 시스템 및 식각 장비에 사용됩니다.
  • 제약: 의약품 제형화 및 생물공정 과정에서 무균 상태를 보장합니다.
  • 연구 실험실: 오염 없는 시료 취급이 필요한 분석 기기에 필수적입니다.